Đối với bộ tiêu chí đánh giá cấp sở, ngành, nhóm tiêu chí hạ tầng CNTT bao gồm: Số máy tính/ tổng số cán bộ, công chức; số máy tính kết nối internet/ tổng số máy tính; số lượng hệ thống cơ sở dữ liệu chuyên ngành; hệ thống an toàn, an ninh thông tin và tổng chi ngân sách cho hạ tầng kỹ thuật công nghệ thông tin trong năm.

Về nhóm tiêu chí ứng dụng CNTT gồm: Triển khai các ứng dụng cơ bản tại các đơn vị; triển khai ứng dụng phần mềm Văn phòng điện tử; triển khai ứng dụng phần mềm nguồn mở; số cán bộ công chức thường xuyên sử dụng hòm thư điện tử của tỉnh và số cán bộ công chức được cấp; tin học hóa các thủ tục hành chính; triển khai cung cấp các dịch vụ công trực tuyến; cổng, trang thông tin điện tử và tổng chi ngân sách cho ứng dụng CNTT trong năm.

Đối với cấp huyện, bộ tiêu chí đánh giá được xây dựng tương đối chi tiết với 11 tiêu chí đánh giá về hạ tầng kỹ thuật CNTT. Hạ tầng nhân lực CNTT gồm:tỉ lệ số trường tiểu học có giảng dạy môn tin học; số trường trung học cơ sở có dạy môn tin học; hệ thống chuyên trách CNTT cấp huyện, xã;  tỉ lệ số cán bộ sử dụng thành thạo máy tính trong công việc; các chương trình đào tạo tập huấn về CNTT trong năm và tổng số chi ngân sách cho đào tạo cán bộ CNTT trong năm.